到了1904年,英国的弗莱明对这种现象发生了兴趣,他工作在著名的卡文迪许实验室,对电学造诣极深,他认为这是一种热电子流。1895年,弗莱明受聘在马可尼无线电公司做顾问,在改进检波器的时候,他利用这种现象发明了二极管。当时正是无线电通信发展的时代,二极管具有单向导电性,用于无线电的检彼,提高了效率。
1906年,福斯特在一次偶然的事件中发明了三极管,三极管是在阴极和阳极的中间放上一个有窟窿的栅极,这样只要在栅极上施以很小的电压就可以有效地控制从阴极流向阳极的电流。所以三极管可以对电信号进行放大,这就给无线电信号插上了翅膀,从此以后,再也不怕路途遥远,信号不清了。
电子管发明后得到了广泛的应用。但是,它耗电高、体积大、价格贵、寿命短、易破碎。这些缺点促使人们进一步地去研究解决。1911年,弗立兹曾制成了第一个硅整流器,它的作用和电子管的二极管的作用一样,于是人们就想,能不能在这里面再插入一个电极,做成晶体的三极管。
1938年,德国的希尔胥等人在一片溴化钾的晶片中,成功地安装了一个栅极。可惜他们的三极管的工作频率很低,不能实用。看来,在晶体管上安一个栅极并不那么容易,成功的希望有赖于固体物理的研究。
从1931年到1939年,许多物理学家对半导体理论进行了研究,特别是德国的肖基特和英国的莫特提出的“扩散理论”,使晶体管的基础理论已经就绪,关键是如何把这些理论应用到实践中。1945年,贝尔实验室决定成立固体物理研究室。一名叫肖克利的理论物理学家进入了这个实验室。他根据莫特——肖尔基的理论,在理论上做出了重要的预言。后来,在巴丁的改进下制成了世界上的第一只晶体管。这一天是1947年10月23日。
真正的批量生产的晶体管于1945年才出现,一开始性能极不稳定,但是随着半导体工业的发展,新的电子器件不断出现。60年代人们发明了集成电路,第一块集成电路是在不到1平方厘米的硅片上集成了几十个晶体管的小小规模集成电路。70年代
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