半导体设备及材料产业被称为半导体的支撑产业，每一次设备、材料的推陈出新都深刻影响着半导体产业的发展，而半导体制造业的发展也必将带动设备业的投资。有关资料显示，2005年国内半导体设备投资额同比下降近50%，高昂的设备采购成本以及对半导体制造业的投资更加谨慎，不同程度地影响了我国设备业的发展。

    2006年，全球半导体工业将开始进入65nm器件量产，而设备厂商也将进入到45nm及以下设备的研发，由于研发投入加大，设备厂商风险增加，芯片制造等设备采购商要求设备降价的压力也越来越大。

    业内资深人士表示，作为设备厂商，其实正面临着两难局面：如果不跟随摩尔定律，就意味着马上出局，但真要紧跟上去，庞大的研发费用又支付不起，其产品价格下降困难，同时也很难得到应有回报。所以，设备厂商在近期能做的，就是努力设法降低设备的制造成本，子系统及零部件的本地化采购会有助于降低设备生产成本。在中国发展设备配套部件产业，在完善中国半导体制造产业链的同时，也将有助于国际设备供应商整体竞争力的提高。

(摘自《中国电子报》)